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大尺寸光波导器件批量化

主题技术：大幅面高保真纳米级图案转移技术

  • 可实现尺寸450mm纳米图案复造技术
  • 具备柔性、硬质基底的转移规划
  • 高精度对准纳米压印技术
  • 拼接压印与双面压印技术
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